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石英晶圓片是應用最廣泛的光學材料，由于它的高純度，熱膨脹系數低，抗拉強度高，高的光傳輸和獨特的電氣性能，石英晶圓片廣泛應用于PLC 平面波導分光器芯片、MEMS、高科技半導體等。我公司長期生產厚度≧0.1mm，外形尺寸≧Φ2"的高精密度石英晶圓。除常規的Φ4”, Φ5”, Φ6”, Φ8”, Φ12"以外，其它尺寸可以定制。石英晶圓通常有Corning, Nikon, Heraeus 等材質，需其定制它材質的石英晶圓，請聯系我們的銷售人員。
技術參數
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規格 |
4 inch |
5 inch |
6 inch |
8 inch |
12 inch |
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直徑 |
100 ± 0.1 mm |
125 ± 0.1 mm |
150 ± 0.1 mm |
200 ± 0.1 mm |
300± 0.1 mm |
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厚度 |
500 ± 5 um |
625 ± 5 um |
675 ± 5 um |
725 ± 5 um |
900± 5 um |
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粗糙度 |
Ra ≤ 1 nm |
Ra ≤ 1 nm | Ra ≤ 1 nm | Ra ≤ 1 nm |
Ra ≤ 1 nm |
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翹曲度 |
≤ 10um |
≤ 10um | ≤ 10um | ≤ 10um |
≤ 10um |
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平整度 |
≤ 3 um |
≤ 3 um | ≤ 3 um | ≤ 3 um |
≤ 3 um |
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表面質量 |
20/10 |
20/10 | 20/10 | 20/10 |
20/10 |
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形狀 |
圓形, 帶定位邊, 帶定位角 |
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倒邊 |
45°, SEMI Spec; C Shape |
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材質 |
Corning, Nikon, Heraeus etc. |
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備注 |
石英晶圓可定制 |
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